進口ULVAC愛發(fā)科 DA-40S 維護方便隔膜型干泵 

進口ULVAC愛發(fā)科 DA-40S 維護方便隔膜型干泵 

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計的底座軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

當使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。

膜片泵通過橡膠膜片的往復(fù)運動來形成真空。

泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設(shè)計、因此維護簡單。

根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設(shè)計。