新款ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵 MS1200A

簡要描述：新款ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵 MS1200A
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

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新款ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵 MS1200A

特點(diǎn)

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

型式	（C：C式樣）（L：L式樣）	LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
		C	L	C	L	C	L	C	L
最大排氣速度	m³/h	120		380		600		1000
到達(dá)壓力	Pa	≦0.6		≦0.1
電源電壓		200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費(fèi)電力概略值 *1	kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷卻水量	L/min	>2.0		>4.0
Purge gas 量 *2	SLM	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50
最大水蒸氣處理量 *3	kg/h	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音值*1	dB(A)	61		61		62		64
吸氣口		KF50(水平)／ VG50(垂直)		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排氣口		KF40		KF40		KF40		KF40
質(zhì)量	kg	142		220		242		266
適用規(guī)格		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品		電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護(hù)器
本體選配件		電源電壓：200V級或400V級、密封部材質(zhì)：全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件		MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge