池田屋HORIBA堀場排氣壓力控制器

簡要描述：池田屋HORIBA堀場排氣壓力控制器
從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程（T98）
尺寸緊湊，

產(chǎn)品型號：EC-5104
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-11-16
訪問量：504

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池田屋HORIBA堀場排氣壓力控制器

對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微小壓力控制，還可以進(jìn)行流量測量。

業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗(yàn)證的電容式壓力傳感器，可以在低壓下進(jìn)行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。

對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微壓差控制，還可以進(jìn)行流量測量。

業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定

配備質(zhì)量

流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器，可以以與原料氣體供應(yīng)過程相同的精度監(jiān)控實(shí)際流量。

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以進(jìn)行類似的設(shè)計和構(gòu)造。

符合RoHS指令

這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調(diào)節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。

采用全金屬結(jié)構(gòu)（氣體接觸部分）和無死體積結(jié)構(gòu)，可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中，例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。

EC-5104

互動規(guī)模	西北40
氣體接觸材料	SUS-316L、Viton®
電導(dǎo) （真空區(qū)域）	0.4～80升/秒
流出量100mmH2O （全閉）	20升/分鐘

可滾動的

EC-5105

互動規(guī)模	西北50
氣體接觸材料	SUS-316L、Viton®
電導(dǎo) （真空區(qū)域）	0.6～200升/秒
流出量100mmH2O （全閉）	25升/分鐘

可滾動的

EC-5202

互動規(guī)模	25mm Teflon® 接頭 1 英寸 Teflon® 接頭
氣體接觸材料	PTFE、PEEK、Viton®
電導(dǎo) （真空區(qū)域）	0.4～80升/秒
流出量100mmH2O （全閉）	3升/分鐘