今日分享KAKUHUNTER寫真化學(xué)反射式膜厚監(jiān)測(cè)儀

今日分享KAKUHUNTER寫真化學(xué)反射式膜厚監(jiān)測(cè)儀

反射式膜厚監(jiān)測(cè)儀是一種反射分光式膜厚計(jì)，采用小型反射探頭并采用光學(xué)干涉測(cè)量法，可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)過(guò)程中在線 檢查的所有情況。它具有出色的可維護(hù)性，可以集成到工藝設(shè)備中或用于生產(chǎn)線管理目的。

最多可同時(shí)測(cè)量 9 種透明薄膜。

它具有出色的可維護(hù)性，可以集成到工藝設(shè)備中或用于生產(chǎn)線管理目的。

例如，它可以用作成膜、拋光和蝕刻過(guò)程中的在線監(jiān)控器或終點(diǎn)監(jiān)控器（終點(diǎn)檢測(cè)傳感器），并可以實(shí)時(shí)監(jiān)控膜厚。它

還可用于評(píng)價(jià)多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

• 我想輕松測(cè)量透明多層薄膜每一層的厚度。

• 我想自動(dòng)測(cè)量多個(gè)點(diǎn)的薄膜厚度。

• 我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。

• 我想測(cè)量半透明板的厚度。